新八一中文

第494章 听课最久做笔记最多的学生（第1页）

对“多腔并行PVT传输设备”的第二次整装调试，从下午一点一直进行到了晚上十点。

中间十六人团队出去吃了一次饭，但都是匆匆扒拉了一顿。

随着一个个零部件被精密安装，眼前数十立方米的大型设备逐渐完备。

整体来看，这台设备好似微缩版的“小别墅”，生成腔双联六个形成规整的长方体，而原料仓为了均匀性设置在上方，侧面还有配套的控制及电气系统。

由于最高的地方接近三米，背面还设置了一截钢制楼梯。

比起以前的CVD设备，眼前的这个更具有工业气息，当然不是粗犷工业风，而是科技工业风。

操作面板被点亮，展现出和其他自研设备一脉相承的UI界面和中文指示，工作人员将提前由“高温反应炉”生成的高纯度碳化硅粉末，用特制容器加入了原料仓中，并在得到翟达首肯后启动了仪器。。。

厚重的原料仓开始营造近真空环境，实验室内开始出现轻微的嗡嗡声。

足足15分钟后，设备被加热至2300°以上，真空预烧除杂后，气化的碳化硅开始传输至生长区。

每个腔室内，都有用于引导排列的“籽晶表面”圆盘，使得碳化硅气体会按照预定需求结晶排列。

在这一物质的250种排列晶型中，只有4H-SiC晶型可用，所以温度梯度要控制在±5°C以内。

翟达选择的衬底尺寸，是目前市场上属于先进、但未超标准的“6英寸”，不过在六腔体并联，且设备自研的情况下，效率依旧完爆。

说起这个“6英寸”还有点小郁闷，相当于15。24厘米，有零有整的。。。

作为全产业链自主可控，他们完全可以用公制单位而非英制单位，会更有助于标准化和体系化，奈何产业技术是有惯性的。

早期开发“功率器件制造工艺”时，衬底依赖英飞凌，东西都是配套的，现在也只能“6英寸”。

类似的“产业惯性”在其他公司也是一样，英制尺寸这种早就该被抛弃的东西，大多都是几十年来的沿袭，普通公司想改也改不了，渐渐成为行业习惯。

但他们全产业链自主可控了，就不需要搭理了。

再迭代一轮吧。。。等日后，下一阶段他就会逐步改为公制，不搞“8英寸”了，搞“20CM”衬底即可。

等待了足足一小时，加热、气相传输、温度传感等一切正常，托盘上终于观测到了碳化硅沉积。

0。3毫米。

堪称感人。。。若不是六联腔体同时生成，这速度足以让人抓狂。

众人看向翟达，等待着带头人的决断。

翟达叹了一口气：“等着吧，按照规划，需要生成20厘米高的晶锭，至少需要一星期时间。。。”

一周时间不能断，持续维持2300°高温，你就说这电费攒劲不攒劲？city不city？

所以对半导体企业来说，电费的每一毛都是利润。

且到这一步依旧还不能算大功告成。

要等20厘米高的晶锭取出后，切割成薄片，最后再通过繁琐的检测，才能宣告这台设备的合格、研发成功。

而且作为第一次正式运转，一天24小时都得有人盯着。

看大家都很严肃，翟达带上了一丝笑容，虽然无尘服下看不见：“不管怎么说，至少今天拿到了阶段性胜利，各位，干得不错。”

稀稀拉拉的回应并不热烈，一个是累了，另一个是都是科研工作者，知道现在远不是开香槟的时候。

翟达看了看表，接近12点，大家除了晚饭，已经工作了十个小时以上，而且是包裹在无尘服中，这是非常疲惫的。

一些体能不好的，已经有点站不稳了。

翟达安排道：“数据记录后，各位就回去休息吧，明天早上八点开始，排班值班，周墨，你明天早上早点过来。”

某个大白点点头，但紧接着想到：“那今晚。。。？”

翟达只说了两个字：“我来。”